近期，微電子所硅光子平臺 完成了平臺工藝設計工具包（PDK）與國際主流光子集成設計軟件PhoeniX Software和Luceda Photonics IPKISS的集成，標志著(zhù)微電子所建成國際硅光子平臺。 

　　硅光子技術(shù)是利用成熟的CMOS平臺和技術(shù)，采用硅基材料進(jìn)行光電器件和芯片的開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)。該技術(shù)是后摩爾時(shí)代微電子跨領(lǐng)域發(fā)展的方向之一，也是光電子走向大規模集成的必然途徑。硅光子不僅在現階段的光通信、光互連領(lǐng)域有迫切的應用需求，在未來(lái)的芯片內光互連和光計算機上都有重要的應用前景。 

　　微電子所硅光子平臺基于微電子所先導中心成熟的8英寸CMOS工藝線(xiàn)，與中國電科38所、中科院半導體所、武漢郵電科學(xué)院合作進(jìn)行開(kāi)發(fā)。通過(guò)硅光子器件庫的設計、流片、測試、優(yōu)化迭代，開(kāi)發(fā)了成套硅光子制造工藝庫和器件庫，定義了平臺設計規則與圖層，形成了初版PDK內容。自2017年5月發(fā)布以來(lái)，平臺已承接國內30多家單位的MPW流片及定制流片，器件測試結果達到國際先進(jìn)水平，得到了業(yè)內人士的高度評價(jià)。為了進(jìn)一步提高平臺能力和規范服務(wù)流程，平臺近期與國際知名光子集成設計軟件商PhoeniX Software合作，將PDK內容與其設計軟件進(jìn)行集成，開(kāi)發(fā)了PhoeniX Software下的 IMECAS軟件包。內嵌在OptoDesigner的IMECAS PDK除支持基本的器件連接外，還支持版圖和仿真集成的設計環(huán)境、包括Manhattan型在內的多種智能布線(xiàn)、實(shí)時(shí)設計規則檢查、以及不依賴(lài)于具體工藝平臺的設計方法，可將基于其他平臺的設計高效轉移至微電子所硅光子平臺。 

　　與此同時(shí)，由平臺合作開(kāi)發(fā)伙伴中國電科38所主導開(kāi)發(fā)了Luceda Photonics IPKISS下的IMECAS軟件包，包含了設計手冊、DRC腳本、器件庫等。其中器件庫以Compact Model形式提供，包含器件layout，以及基于測試數據的S-matrix模型，可利用IPKISS軟件提供的Caphe引擎完成光子鏈路仿真。 

　　基于上述技術(shù)集成，微電子所硅光子平臺將為客戶(hù)提供更為便捷、靈活的產(chǎn)品設計方案，大大提高設計效率，有利于客戶(hù)的產(chǎn)品更快地投入到市場(chǎng)。 

　　

    背景介紹： 

　　PhoeniX Software公司始創(chuàng )于1991年，作為光電設計自動(dòng)化先鋒，其業(yè)務(wù)覆蓋全球35個(gè)國家和地區，為全球主要晶圓廠(chǎng)如IMEC、CEA-LETI、VTT、INPHOTEC、SMART Photoncs、HHI、LioniX、Ligentec、美國Sandia、AIM和TowerJazz等提供內嵌在OptoDesigner軟件中的 PDK。 

　　Luceda是國際知 名的硅光子設計軟件工具提供商，主要提供硅光子和大規模集成光學(xué)軟件的專(zhuān)業(yè)工具，為用戶(hù)提供端到端的解決方案，是IMEC、IME、IHP、Ligentec、SmartPhotonics等光子集成供應商重要的合作伙伴。